产品特点
体积小, 操作方便,适用于桌面放置以及满足上述规格
的晶圆。
晶圆减薄前贴膜性能:晶圆收益≥99.9%
贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)
每小时产能:≥ 80片晶圆
更换产品时间:5min
规格参数
晶圆尺寸(英寸): 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"
晶圆厚度: 300 - 750μm
晶圆种类:
晶圆材料:硅,砷化镓或其他
晶圆工艺:单平边,双平边,V型缺口

胶膜种类
胶膜材料:蓝膜或UV膜
胶膜规格:长度--100m;
宽度--120 ~ 240mm;
厚度--0.05 ~ 0.2mm;
贴膜原理: 防静电滚轮贴膜
贴膜动作: 自动拉膜和贴膜
晶圆台盘: 通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘或硅胶台盘或陶瓷台盘
晶圆装载方式:手动放置与取出。
防静电控制: 防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器
切割系统
独特的手动可调整环形切刀适用于不同的晶圆外形
刀头带独立加热机构无任何飞边,并省去修边
独特的手动直切刀设计,为省膜的设计;
晶圆定位:通用标线/弹簧销钉
安全防护:配置紧急停机按钮
电源:AC 220V 10A